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OX400-5-N-T-E-H低浓度氧化锆氧分析仪
时间: 2013-12-26
OX400-5-N-T-E-H低浓度氧化锆氧分析仪
低浓度氧化锆氧分析仪:
OX400-5-N-R-E-H、OX400-5-N-T-E-H、、OX400-3-A-T-E-H
横河电机最新推出的氧分析仪OX400,是公司在该技术的长期经验积累和优秀业绩基础上研发出来的。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400的氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积专利技术,在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离,还可以减小传感器尺寸,确保高速响应和长寿命。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制
用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量
测量氧气浓度,防止粉尘运输中粉尘爆炸
特性:
使用寿命长,响应速度快
由于使用了横河电机的新型薄膜沉积专利技术,传感器的寿命周期提高了三倍
圆柱形传感器设计便于置换被测气体,确保高速响应
高性能和高可靠性
即使在低氧浓度下,仍具有极高的精度和线性
在不同应用中,可选择泵式或抽提采样方式
内置功能和多种自诊断功能
自带多选择器,自动量程,特定量程以及泵开/关功能
提供多种自诊断功能,以检测故障,如加热器温度错误,温度传感器断偶和传感器电阻值错误
出众的维护性
可现场更换传感器
小型轻量,易于安装
规格:
测量对象 |
惰性气体中的氧气浓度 (易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外) |
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测量系统 | 氧化锆系统 | ||||||||
采样方法 | 泵式,抽提式等 | ||||||||
样气条件 |
流速: 200 ± 25ml/min(仅用于传感器) 温度: 0~50℃(无结露) 湿度: 无结露 压力: 0~300PaG 最大容许压力: 30kPaG |
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测量量程 | 0-10ppm O2至0-100vol% O2 | ||||||||
输出量程 |
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模拟输出 |
2路输出, 一次: 4~20mA DC(最大负载电阻: 550Ω) 二次: 可选为0~1,0~5,0~10V DC(负载电阻: 10kΩ或更大) |
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接点输出 |
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接点输入 | 1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF | ||||||||
自诊断 |
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串口通信 | RS-232,38400 bps | ||||||||
标定方法 | (1)3点: 10ppm,1000ppm,空气,(2)2点: 可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定 | ||||||||
暖机时间 | 20分以内 | ||||||||
电源 | 100 - 120V AC/220 - 240V AC,50/60Hz | ||||||||
功耗 | 100~120V AC,200VA 最大,220~240V AC,400 VA 最大 | ||||||||
尺寸 | 213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm | ||||||||
质量 | 约5kg | ||||||||
管线连接 |
气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 |
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环境条件 |
|
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符合的安全标准 和EMC标准 |
|
特性:
重复性 | ±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或100%) |
线性 |
±2%F.S. ±3%F.S.(0~100ppm或更低) |
响应时间 |
90%响应 10秒内(0~1%或更高) 30秒内(小于0~1%) |
漂移 | ±2%F.S./周 |
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